和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點(diǎn):
(一)能夠直接觀(guān)察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二)樣品制備過(guò)程簡(jiǎn)單,不用切成薄片。
(三)樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀(guān)察。
(四)景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
(五)圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬(wàn)倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達(dá)3nm。
(六)電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。
(七)在觀(guān)察形貌的同時(shí),還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析。
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